吴茂 1, , 常玲玲 2, , 何新波 3, , 曲选辉 4,
1.北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083; 2.中国科学院微电子研究所,北京,100029; 3.北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083; 4.北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083
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