人工晶体学报, 2017, 46(5): 903-907.
多周期溅射单质靶制备铜锌锡硫薄膜电池

陆熠磊 1, , 王书荣 2, , 李志山 3, , 蒋志 4, , 杨敏 5,

1.云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650500;
2.云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650500;
3.云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650500;
4.云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650500;
5.云南师范大学太阳能研究所云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650500

采用多周期磁控溅射单质靶Cu-Sn-Zn制备CZTS薄膜太阳电池.多周期包含两周期和四周期,同时与单周期制备的CZTS薄膜电池作对比.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和拉曼光谱仪(Raman)对不同周期得到的CZTS薄膜的晶体性质、表面样貌、化学成分等性质进行分析研究.分析结果显示,多周期制备的CZTS薄膜晶体质量要比单周期的好,表面均匀致密.重要的是四周期溅射制备的CZTS薄膜是研究的最佳实验组.最终把不同周期得到的CZTS薄膜制备成完整的器件结构,得到的太阳电池效率分别是:单周期2.64%,两周期3.01%,四周期3.36%.
引用: 陆熠磊, 王书荣, 李志山, 蒋志, 杨敏 多周期溅射单质靶制备铜锌锡硫薄膜电池. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 903-907. doi: 
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