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人工晶体学报, 2017, 46(5): 861-873.
氩氧流量比对CeOx-SnOx膜微观结构及光学性能的影响

那聪 1, , 姜宏 2, , 蔡思翔 3, , 冯建 4, , 王红燕 5,

1.海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海口,570228;
2.海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海口 570228;海南省特种玻璃国家重点实验室,澄迈 571924;
3.海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海口,570228;
4.海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海口,570228;
5.海南大学南海海洋资源利用国家重点实验室,海口,570228
采用磁控反应共溅射的方法,以金属Ce和Sn为金属源,成功地制备出CeOx-SnOx薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜的结构、表面形貌及成分进行了分析和表征.结果表明薄膜以岛状模式生长,随氩氧比降低,结晶性增强,出现CeO2和SnO相.此外,利用紫外-可见分光光度计对薄膜的光学性能进行了研究,测试结果表明薄膜对紫外光有极强的吸收作用.当氩氧流量比为3∶1时,紫外光平均透过率仅为5.80%,而可见光平均透过率为81.48%.
引用： 那聪, 姜宏, 蔡思翔, 冯建, 王红燕 氩氧流量比对CeOx-SnOx膜微观结构及光学性能的影响. 人工晶体学报, 2017, 46(5): 861-873. doi: 
参考文献：

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