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人工晶体学报, 2017, 46(4): 682-687.
合成CVD金刚石涂层用硬质合金基体预处理工艺优化研究

许晨阳 1, , 解亚娟 2, , 邓福铭 3, , 陈立 4, , 雷青 5,

1.中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;
2.中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;
3.中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083;
4.中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京 100083;信利光电股份有限公司,汕尾 516600;
5.中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京,100083
以CH3COCH3和H2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层.利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结果确定三步法最佳工艺.利用扫描电镜、X射线衍射仪和硬度计检测所得金刚石涂层的表面形貌、结晶性和膜基结合性.结果表明:三步法最佳工艺为先采用酸溶液腐蚀20 s,然后采用碱溶液腐蚀20 min,最后继续用酸溶液腐蚀3 min.三步法预处理后的YG6基体获得的金刚石薄膜生长更加均匀致密,晶粒取向更高,膜基结合性能更好.
引用： 许晨阳, 解亚娟, 邓福铭, 陈立, 雷青 合成CVD金刚石涂层用硬质合金基体预处理工艺优化研究. 人工晶体学报, 2017, 46(4): 682-687. doi: 
参考文献：

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