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人工晶体学报, 2017, 46(4): 657-661.
氩气对MPCVD制备纳米金刚石薄膜的影响

任昱霖 1, , 张田田 2, , 黄宏伟 3, , 付秋明 4, , 马志斌 5,

1.武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073;
2.武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073;
3.武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073;
4.武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073;
5.武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073
纳米金刚石(NCD)在精密机械、光学真空窗口等领域具有广泛的应用.利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)以乙醇、氩气和氢气为气源,通过改变氩气浓度探究氩气对NCD膜光学性质的影响,利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱、X射线衍射仪(XRD)和红外光谱对不同氩气浓度沉积的薄膜的结构、成分和性质进行表征.结果表明,随着氩气浓度升高,NCD膜表面粗糙度降低,同时金刚石的纯度下降,在此作用下,NCD膜的透光性随氩气浓度先升高后降.
引用： 任昱霖, 张田田, 黄宏伟, 付秋明, 马志斌 氩气对MPCVD制备纳米金刚石薄膜的影响. 人工晶体学报, 2017, 46(4): 657-661. doi: 
参考文献：

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