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兵器材料科学与工程 , 2016, 39(6): 52-55.
强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究

李昂 1, , 王庆国 2, , 王腾 3, , 王妍 4, , 成伟 5,

1.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003;
2.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003;
3.中国电子科技集团第33研究所,山西太原,030006;
4.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003;
5.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003
为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统.通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性.结果表明:外施场强达到600 kV/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700kV/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间.
引用： 李昂, 王庆国, 王腾, 王妍, 成伟 强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究. 兵器材料科学与工程 , 2016, 39(6): 52-55. doi: 
参考文献：

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