Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究

1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049

2.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049

3.西安空间无线电技术研究所,西安,710000

4.西安空间无线电技术研究所,西安,710000

基金项目: 国家自然科学基金(59931010) 中-法合作项目(PRA MX9906)

CHARACTERIZATION OF THE SURFACE ROUGHNESS AND NANOINDENTATION HARDNESS OF Au/NiCr/Ta MULTILAYERS

采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.

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